HFC-303 300SLM (6.8MPa) Kofloc Vietnam

1. Giới thiệu chung

HFC-303 300SLM (6.8MPa) là mass flow controller (MFC) thuộc dòng HFC-300 series của hãng Kofloc – Nhật Bản, được thiết kế để đo và điều khiển chính xác lưu lượng khí lên đến 300 SLM, chịu áp suất cao tới 6.8 MPa. Thiết bị này lý tưởng cho các ứng dụng nghiêm ngặt về lưu lượng khí áp cao trong các ngành công nghiệp bán dẫn, năng lượng, hóa chất và phòng thí nghiệm.

2. Đặc điểm nổi bật

• Điều khiển lưu lượng khí chính xác cao trong thời gian thực.

• Chịu áp suất cao lên tới 6.8 MPa – phù hợp khí áp lực lớn.

• Cấu tạo nhỏ gọn, dễ tích hợp vào hệ thống.

• Cảm biến nhiệt độ và áp suất tích hợp – tối ưu phản hồi.

• Đa dạng kết nối và giao thức điều khiển: analog, RS485.

3. Thông số kỹ thuật

• Model: HFC-303

• Dải đo: 0–300 SLM

• Áp suất làm việc tối đa: 6.8 MPa

• Độ chính xác: ±1% F.S

• Nguồn cấp: 15–24 VDC

• Tín hiệu điều khiển: 0–5 VDC hoặc RS485 (tùy chọn)

• Vật liệu tiếp xúc khí: SUS316

• Kết nối: 1/4″ Swagelok hoặc theo yêu cầu

4. Ứng dụng của HFC-303 300SLM Kofloc

• Điều khiển lưu lượng khí nén áp suất cao trong nhà máy.

• Hệ thống cấp khí tinh sạch ngành bán dẫn, năng lượng.

• Ứng dụng trong thiết bị kiểm tra khí, buồng chân không.

• Tự động hóa quá trình phản ứng khí – hóa học, plasma.

• Điều chỉnh chính xác khí phản ứng, bảo vệ thiết bị.